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ASML 发布 Hyper NA EUV 继任者，目标实现 5nm 单次曝光

ASML unveils Hyper NA EUV successor targeting 5nm single exposure

来源 digitimes

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  1. ASML 发布 Hyper NA EUV 继任者，目标实现 5nm 单次曝光 ASML unveils Hyper NA EUV successor targeting 5nm single exposure digitimes · · 首发